测量平面度和平行度的仪器有：偏摆仪、百分表、数据采集仪。
测量原理
平面度：数据采集仪从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，无须人工计算，提高测量的准确率。
平行度：数据采集仪从百分表中自动读取测量数据的最大值跟最小值，数据采集仪软件自动计算出平行度误差，并判断所测零件的平行度误差是否在平行度公差范围内。如果所测平行度误差大于平行度公差值，采集仪会自动发出报警功能，提醒相关操作人员该产品不合格。
测量平行度的量具有卡尺、千分尺（测量对边距离尺寸）、百分表（把工件放在精密测量平板上用百分表测量）。
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